mocvd-reaktorin lämmitys induktiolla
Induktiolämmitys Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) -reaktorit on tekniikka, jonka tavoitteena on parantaa lämmitystehokkuutta ja vähentää haitallista magneettista kytkentää kaasun sisääntuloon. Perinteisissä induktiokuumennettavissa MOCVD-reaktoreissa induktiokäämi on usein sijoitettu kammion ulkopuolelle, mikä voi heikentää lämmitystehoa ja aiheuttaa mahdollisia magneettisia häiriöitä kaasunsyöttöjärjestelmään. Viimeaikaiset… Lue lisää